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气相沉积前驱体
产品名称：
三(五氟苯基)硼烷
英文名称：
Tris(pentafluorophenyl)borane,
CAS编号：
1109-15-5
英文别名：
Tris(pentafluorophenyl)borane; Perfluorotriphenylborane
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